電容膜片真空計的來源及性能介紹

更新時間：2014-03-04 點擊次數：3009

真空計是高精度總壓強測量和控制的*選擇。為達到優異的半導體和等離子過程要求的性能，將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好，從大氣壓恢復快，預熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質量，成本效益好的壓強傳感器，用于半導體，等離子和各項要求高的真空應用中。

根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規管又稱為電容式壓力傳感器和測量儀器兩部分組成。根據測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構

科銳詩汀電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產環境中具有穩定的性能。數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點。如一鍵調零功能和設點調整。抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏蔽（技術）保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了EMC兼容性，長期穩定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準。

電容膜片真空計*性：的滿量程穩定性 – 與氣體類型無關；抗腐蝕的氧化鋁傳感器；超小型, 同類產品中尺寸zui小；易集成, 任何方位安裝；數字訊號處理；無需維護。電容膜片真空計用途：真空鍍膜；真空監測；消毒滅菌；食品和包裝；真空爐, 拉晶器；分析；化學真空過程。

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