有關膜厚儀（晶控）的問答

有關膜厚儀（晶控）的問答

1，膜厚儀（晶控）如何選型？

答：這個問題很復雜，以深圳市科銳詩汀代理的瑞士英福康膜厚儀為例：

如果僅僅需要監測厚度，可選用SQM-160，STM-2XM，STM-3，STM-2。如果既要檢測，又要控制膜厚，可選用Cygnus 2，IC6，SQC-310，XTC/3，IQM-233。如果需要將膜厚的測控集成到自己的系統中去，可選用IQM-233。

如果在意精度，那么精度高的是Cygnus 2，其膜厚和速度分辨率達到±0.0043Å，其后依次為IC6，SQC-310，XTC/3，STM-2XM，STM-3，STM-2，IQM-233，SQM-160。

如果考慮源的數量，多的是IC6和Cygnus 2，都能達到6個，其余型號一般是2-1個。

如果考慮探頭數量，多的是IC6和STM-3，都能達到8個，其次是Cygnus 2，達到6個。

如果考慮材料數量，多的是IC6，能達到32種，其次是XTC/3，達到9種，再次是Cygnus 2，達到6種。

如果考慮行業，OLED行業優先選擇Cygnus 2，INFICON Modelock技術確保在非常低的速率下有好的穩定性；光學鍍膜行業優先選擇IC6，每個工藝200個膜層的容納能力，使其更適合光學鍍膜工藝，例如反射膜、帶通濾光膜。AR膜等；教學科研行業可以優先選擇XTC/3，具有能控制幾乎任何膜層數量的能力；普通鍍膜可以優先選擇SQC-310，可連接2個探頭，2個源輸出,8個數字I/O; 共鍍膜可以優先選擇SQC-310C，可連接4個探頭，4路PID控制輸出，16個數字數字輸入，16個繼電器輸出; 僅需要監測的行業優先選用SQM-160，STM-2XM，STM-3，STM-2。

2，兩個測量通道跟連接兩個探頭是一回事？

答；可以這么理解。

3，SQC 310可連接兩個探頭，有兩個源輸出，所謂兩個探頭，是每一個探頭都可以是雙探頭，或者是crystal 12那種探頭？

答：可以這么理解。但crystal 12或crystalSix這樣的探頭每次只能有一個晶振片工作，其余的備用替補。

4，雙探頭一次只能用一個晶振片工作嗎？

答：雙探頭有兩種工作方式，一種類似crystal 12，每次只能有一個晶振片工作，另一種工作方式可以有兩個晶振片工作，用來比較校準，但要配兩個振蕩包。

5，兩個源輸出是可以控制兩臺機器嗎？

答：不可以，是可以控制同一個機器里兩個蒸發源，蒸鍍不同的材料。

6，IQM 233怎么使用？客戶用什么樣的語言來編程？？

答：它也需要配震蕩包，探頭等等，插在客戶的電腦插槽里，將膜厚的監測和控制集成到客戶自己的系統中去。理論上目前流行的控制類編程語言都能使用，具體情況可以咨詢深圳市科銳詩汀科技有限公司的工程師。

7，探頭的長度是固定的嗎？

答：一般都需要訂制，客戶根據自己設備的情況，提供探頭到法蘭的長度參數，國外的工廠根據合同的參數加工。

8，正常探頭是耐受400度高溫，可烘烤探頭是450度，好像區別不大？水冷是必須的吧？

答：不一樣，正常探頭是可以耐受環境溫度達到400度，可烘烤探頭可經受450度的持續烘烤。是否水冷根據設備的具體情況，一般都會采用水冷，正常探頭水冷情況下是可以耐受環境溫度達到400度，而無水冷情況下只能耐受130度，抽屜式探頭稍高，可以耐受200度，濺射型探頭甚至只能耐受105度。