Inficon高精度薄膜電容規(guī)（CDG）

Inficon高精度薄膜電容規(guī)（CDG）

INFICON 陶瓷電容式膜片真空計(jì) (CDG)  專為要求極其嚴(yán)格和準(zhǔn)確度要求jigao (0.15%)的真空行業(yè)設(shè)計(jì)。防腐蝕超純氧化鋁材料傳感器，可確保該真空計(jì)*的性能、長(zhǎng)期的穩(wěn)定性、高準(zhǔn)確度和多年免維護(hù)。精準(zhǔn)真空測(cè)量范圍從 0.1 毫乇到 2 巴。

其測(cè)量原理是通過(guò)測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度。

INFICON 提供規(guī)格齊全電容式膜片真空計(jì)（CDG），從價(jià)格便宜的Porter狀態(tài)真空計(jì)到shijieshagnzui快的測(cè)量時(shí)間不到1毫秒Stripe電容式膜片真空計(jì)（CDG）、200℃過(guò)程控制規(guī)管壓力表或具有優(yōu)良穩(wěn)定性的比對(duì)真空計(jì)校準(zhǔn)儀。豐富可選的法蘭和通訊接口的大量選用（如以太網(wǎng)接口）使這些儀表成為既簡(jiǎn)單又實(shí)惠的結(jié)合。

具體型號(hào)有：

Porter CDG020D；CDG025D；CDG045D。

加熱型CDG100D；加熱型CDG160D；加熱型CDG200D。

高速加熱型StripeCDG45Dhs；高速加熱型StripeCDG45Dhs。

設(shè)計(jì)緊湊的加熱式Edge CDG045D2; 

設(shè)計(jì)緊湊的加熱式Edge CDG100D2。

典型應(yīng)用

· 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備

· 工業(yè)真空設(shè)備

· 常規(guī)高精度壓力測(cè)量

· 真空鍍膜

· 真空監(jiān)控

· 食品與包裝

· 真空爐，拉晶器

· 化學(xué)真空過(guò)程

深圳市科銳詩(shī)汀，集真空計(jì)、撿漏儀、真空腔體、真空閥門、真空泵、真空管道于一體的真空系統(tǒng)服務(wù)商，竭誠(chéng)為真空行業(yè)提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)！

作者：深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司真空技術(shù)中心

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