技術文章
科技名詞定義
中文名稱:真空鍍膜 英文名稱:vacuum deposition 定義:在真空條件下,對光學零件鍍膜的工藝過程。 所屬學科:機械工程(一級學科);光學儀器(二級學科);光學儀器一般名詞(三級學科) 本內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公布
百科名片
真空鍍膜一種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術用于生產激光唱片(光盤)上的鋁鍍膜和由掩膜在印刷電路板上鍍金屬膜.
真空鍍膜安全操作規程展開 簡介
真空鍍膜 在真空中制備膜層,包括鍍制晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段,但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式,即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。