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適合單層或多層過程的先進、實惠的速率控制儀 現在,只需一臺適合單層和多層過程的薄膜沉積控制儀便 能滿足您的全部需求。采用ModeLock技術的XTC/3 提供久經考驗的防模式跳變功能,以確保始終如一的質 量。選擇XTC/3薄膜沉積控制儀,您可以高度精確地控制 沉積速率和厚度,這款控制儀幾乎能夠處理任何層數, 安裝簡單,可靠性可為您確保生產率。 作為薄膜沉積控制儀領域的全球,INFICON現在 推出一款購置成本非常低,但卻能夠為您帶來價值的控制儀。 無論您的控制需求反映的是生產還是研發用途, INFICON XTC/3都能精確匹配您的需求。 遍布全球的INFICON支持網絡 無論您身在何處,您都將獲得快速解答、貼心服務和最 長正常運行時間。INFICON在世界各地都設有辦事處, 是一家在全球范圍內為客戶提供本地服務和技術支 持的薄膜沉積控制儀制造商。
特性一覽 • 提供單層和多層型號 • ModeLock技術可防止因模式跳變而出現薄膜厚度 錯誤 • 支持INFICON Crystal 12®、CrystalSix®和雙晶傳感器 自動晶片切換,以提高生產率 • XTC/3M多層型號支持多達99個過程、999層、32種 薄膜、2個傳感器和2個源 • XTC/3S單層型號支持多達9種薄膜、2個傳感器和2個源 • TFT液晶顯示屏提供易讀的圖形顯示 • 可為薄膜和過程分配描述性名稱以方便檢索 • 提供以太網連接 • 可通過獨立 (不需要計算機) 或可選Windows軟件實現 計算機操作 • 即插即用地替換INFICON XTC/2控制儀 (限于XTC/2的 功能和命令集)。