APC鐘擺閥

簡要描述：APC鐘擺閥標準閘閥表面處理:鍍鎳、硬陽Htc真空3位置鐘擺閥通過可調控制氣缸實現真空隔離和真空壓力控制。

產品型號：
廠商性質：代理商
更新時間：2024-10-21
訪問量：1330
產品資料：

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產品分類

詳細介紹

品牌	其他品牌	產地	進口
加工定制	否

APC鐘擺閥的應用

高科技制程后段壓力控制和隔離閥

應用產業

>> SEMI - 半導體

>> FPD - 光電面板

>> CVD - 化學氣相沉積

>> Solar - 太陽能

APC鐘擺閥特點

集成整合壓力控制

精確的壓力控制

密實的隔離

反應時間快

友善簡易操作使用接口

APC鐘擺閥的規格

真空計電壓 : 24V DC or ±15V DC

備用電源 : Yes

真空計輸入

－真空計數量：2 pcs

－真空計數值: 線性 / 指數 t

－真空計輸出電壓：0-10V DC 線性壓力

－輸入電阻：Ri=21 k Ω

－分辨率：2.3 mV

－采樣時間：1ms

控制精度：真空計最大量程的 0.1%

仿真\通訊簡易控制

位置分辨率：8000 (step 0-75° rotation)

環境溫度: 70°C max(控制器可持續 -24HR)

APC 軟件功能

使用APC軟件可提供便利操作功能通過計算機控制

設置控制參數的調整: GAIN

壓力和位置控制模式

附表測試模式=> 1 cycle schedule

設置閥打開/關閉速度

記錄APC 硬件/軟件版本, 序列號和型號

記錄閥門循環和運行時間

設置公差范圍的壓力

循環壽命和壓力控制記錄

控制器參數上傳和下載

斷電保護功能

屏幕截圖

APC鐘擺閥

控制和執行單元
輸入電壓	+24 VDC(±10%)	連接器: POWER
功率消耗	150W(controller + motor)	連接器: POWER
真空計電源輸出	+24 VDC /+-15VDC， 500 mA	連接器: SENSOR
模擬輸入
真空計數量	獨立兩頻道	連接器: SENSOR
輸入電壓	0-10V DC linear	連接器: SENSOR
分辨率	2.3 mV	連接器: SENSOR
輸入電阻	Ri=21kΩ	連接器: SENSOR
模擬輸出
真空計數量	獨立兩頻道	連接器: INTERFACE
輸出電壓	0-10V DC linear	連接器: INTERFACE
數字輸出/入
輸入	獨立兩頻道	連接器: INTERFACE
輸出	獨立兩頻道	連接器: INTERFACE
可接受工作溫度
閥門本體	120 ℃
控制器	70 ℃
控壓精度	0.1% of maximum sensor range
位置分辨率	8000 (step 0-90?rotation)
備用電源	Yes
ISO 200
關閉時間	<1.2sec
開啟時間	<1.2sec
閥門最大扭拒	270kg-cm
ISO 250
關閉時間	<1.2sec
開啟時間	<1.2sec
閥門最大扭拒	880kg-cm
ISO 320
關閉時間	<3.0sec
開啟時間	<3.0sec
閥門最大扭拒	880kg-cm

規格數據
材質	本體		A6061-T6
	閥板		A6061-T6
使用壽命	關閉/開啟壽命		200,000 cycles
	壓力控制壽命		1,000,000 cycles
氦氣泄漏率(一大氣壓壓差)	本體鋁合金		＜1×10-9 mbar .l /sec
	本體鋁合金 ,超硬陽極處理		＜1×10-5 mbar .l /sec
烘烤溫度	本體		≤ 120 ℃
	驅動器		≤ 70 ℃
	控制盒		≤ 70 ℃
壓力范圍	鋁合金		1×10-8 mbar to 1.2 bar
	鋁合金 ,超硬陽極處理		1×10-6 mbar to 1.2 bar
最大壓差	1.2 bar
開啟前壓差	≤ 5 mbar
壓縮空氣壓力	4 ~ 6 Kg/cm2
開/關時間(秒)	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	1.2/1.2	1.2/1.2		2.0/2.0
密封圈材質	閥板		Viton O-ring
	閥蓋		Viton O-ring
重量	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	22Kg	31Kg		51Kg
驅動器	步進馬達
安裝位置	水平 / 垂直			水平
選配	A. 其他密封圈材質 B. 加熱器