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簡要描述:Tru-F10 MKS質量流量計以壓力為基礎的流量控制器
產品分類
質量流量計
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詳細介紹
Tru-F10 MKS質量流量計
Tru-Flo® 質量流量檢測器是一個緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下, 測量上升的壓力來確定流量。 • DELTA® II流量比例控制器隨著 DELTA 流量比例控制器的使用, 優化工藝結果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數。比例可從1:1至1:20。
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