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INFICON 真空開關 VSC150 是一個絕對壓力開關,帶有 0.5 - 2000 mbar 的可調節(jié)電氣開關觸點。其機械設計允許出現(xiàn) 3000 mbar 的短時高溫過載現(xiàn)象,而不會危及 ± 0.1 mbar 的開關準確度。INFICON 可為壓力開關提供客戶特定調節(jié)功能。
NFICON 真空開關 VSA100A 作為安全開關廣泛應用于真空系統(tǒng)中。例如,在使用壓力低于大氣壓 6 mbar 的吹掃氣體對真空系統(tǒng)排氣時,該壓力開關可自動中斷氣體供應。當差壓為 6 mbar 且返回切換壓力比大氣壓低 3 mbar 時,彈性膜片將激活轉換接點,而該接點又可用來直接切換任何輔助設備。