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INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 和 CDG200D 真空計溫度分別控制在160 °C 和 200 °C,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數壓力信號。
INFICON 皮拉尼標準真空計 (PSG55x) 與其兄弟產品 PCG55x 和 PSG50x 相似,采用xian jin的數字皮拉尼技術。堅固的傳感器設計結合緊湊的外形和眾多功能,使其成為從低真空度到高真空度范圍測量的理想產品。 皮拉尼真空計系列 PSG550 / PSG552 / PSG554 可直接替代 TTR 911 / TTR 916 系列:
INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內的壓力。HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量,實現精確控制鍍濺過程壓力。
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓(3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。為負擔不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S,以經濟高效的方式執行基本壓力測量。
CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。
INFICON 波特™ CDG020D 電容隔膜壓力計是一款高質量、高性價比、獨立于氣體類型的絕對壓力傳感器。波特設計用于在工業環境中實現穩定的長時間性能。陶瓷傳感器在多年的免維護運行中具有出色的跨度穩定性,并具有出色的零點穩定性。耐腐蝕的單材料傳感器架構保證了出色的溫度補償。全數字電子元件和小尺寸定義了任何集成的靈活性。波特真空計簡陋、可靠、隨時可用且從不多付錢。